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勻膠機(jī)旋涂儀是一款桌上型實(shí)驗(yàn)室勻膠機(jī),采用了設(shè)計(jì)理念,配合精密的運(yùn)動控制系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)高精度、高均勻度的勻膠操作。產(chǎn)品設(shè)計(jì)小巧,適合安裝在手套箱,通風(fēng)櫥等特定環(huán)境中。可存貯5組程序,每組程序可達(dá)5步。運(yùn)行參數(shù)如轉(zhuǎn)速、轉(zhuǎn)動時(shí)間可實(shí)時(shí)顯示。
自動勻膠顯影機(jī)可實(shí)現(xiàn)不同功能模塊的自由組合定制;配載精密的運(yùn)動控制系統(tǒng),提高實(shí)驗(yàn)精度及重復(fù)性。
伺服勻膠機(jī)是一款高性能精密勻膠機(jī),采用了*進(jìn)的設(shè)計(jì)理念,配合 精密的運(yùn)動控制系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)高精度、高均勻度的勻膠操作??梢源尜A 100 組程序,每組程序可達(dá) 100 步。所有運(yùn)行參數(shù)如轉(zhuǎn)速、加速度、轉(zhuǎn)動時(shí)間、點(diǎn) 膠機(jī)選擇等都可在觸屏上方便設(shè)置。
全新外觀設(shè)計(jì),適配實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)操作 *進(jìn)的設(shè)計(jì)理念,模塊化設(shè)計(jì) 可快速拆卸和替換原有功能模塊,操作便捷 支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個(gè)性化定制 可實(shí)現(xiàn)不同功能模塊的自由組合定制 配載精密的運(yùn)動控制系統(tǒng),提高實(shí)驗(yàn)精度及重復(fù)性
控溫勻膠機(jī)主要用于在半導(dǎo)體制造、納米技術(shù)等領(lǐng)域中,對各種基片進(jìn)行均勻涂布處理。它通過精確控制轉(zhuǎn)速和溫度,實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的旋涂效果。
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