臺(tái)式勻膠機(jī)適用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、生物材料、光學(xué)及表面涂覆等工藝,主要應(yīng)用于溶膠-凝膠實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂布在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)??稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。
臺(tái)式勻膠機(jī)的產(chǎn)品特點(diǎn):
1、電機(jī)勵(lì)磁和電樞分開(kāi)供電。勵(lì)磁用12伏直流穩(wěn)壓電源供電,電樞用運(yùn)放控制IRF830調(diào)速,它比可控硅調(diào)速*,故其轉(zhuǎn)速在500—8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。
2、本勻膠機(jī)有兩檔轉(zhuǎn)速。在啟動(dòng)之后,先以低速運(yùn)轉(zhuǎn),然后自動(dòng)變到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。兩檔速度及運(yùn)行時(shí)間分別可調(diào)。
3、本勻膠機(jī)采用光電檢測(cè),數(shù)字電路測(cè)速,對(duì)電機(jī)的轉(zhuǎn)速檢測(cè)快速準(zhǔn)確。電機(jī)穩(wěn)速方面采用了光電隔離的精密負(fù)反饋電路,使整機(jī)在高達(dá)8000RPM以上轉(zhuǎn)速時(shí)仍十分穩(wěn)定,有力的保證了勻膠質(zhì)量。
4、“吸片”采用電子開(kāi)關(guān)控制電磁閥完成氣路通斷,這樣適合流水線工藝,一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾臺(tái)勻膠機(jī)工作,提高效率。
5、勻膠機(jī)定時(shí)采用可調(diào)定時(shí)電路控制,面板上調(diào)節(jié)Timer旋鈕即可改變勻膠時(shí)間。
6、在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減震措施,因而勻膠機(jī)在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音很低。
7、電磁閥與電機(jī)運(yùn)行有連鎖功能,電磁閥未動(dòng)作不能啟動(dòng)電機(jī)運(yùn)行,本次勻膠電機(jī)未停不能進(jìn)行下次勻膠,若運(yùn)行中誤按“CONTROL”鍵也不能停止吸氣,即不會(huì)產(chǎn)生跑片。